江苏声达晶圆兆声单面刷洗甩干机_报价-声达半导体设备（江苏）有限公司

晶圆兆声单面刷洗甩干机

品牌：江苏声达
产地：江苏
关注度：52
型号：晶圆兆声单面刷洗甩干机
报价：面议
信息完整度：

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核心参数

展位推荐

产品介绍

适用工件： (Applicable parts)	6寸/8寸蓝宝石或碳化硅 6"/8“Sapphire or SiC Wafer
批量产能： (Capacity)	60s/pcs
工艺流程： (Procedure Flow)	上料→ 晶圆定位→旋转刷洗及二流体喷洗(硅面)→翻转180度→旋转刷洗、兆声波喷洗(碳面)→旋转甩干→下料 Load→Location→Rotation,brushing,cleaning,two-fluid spraying(Si side)→Turn over 180 degree→Rotation, brushing,cleaning,megasonic spraying(C side)→Rotation, Spin-Drying→Unload
主要材料： (Major Material)	金属骨架+PP瓷白壳板 Metal Frame+PP white board
运送方式： (Transportation)	通过洁净机械手进行晶圆传输 Wafer transported by clean robotic hand
工艺效果： (Process effect)	a.particle size0.3~0.5um,remove %>90%or <200e.a; b.particle size0.5~1um,remove%>95%or <10e.a。 PS:inspection machine is for Candela or SICA

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声达半导体设备（江苏）有限公司

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声达半导体设备(江苏)有限公司公司位于江苏省张家港市，是超声电气(集团)的全资子公司。公司拥有资深的研发团队，同时有数名来自海外知名半导体企业专家顾问团队;是一家集设备开发、制造、销售于一体的多元化企业。我们为广大客户提供原材料、零部件、半导体装备和工艺的整体解决方案。公司目前还同江苏科技大学共同设立了“半导体湿法工艺技术研究所”，在半导体纳米级清洗技术、多功能一体化设备、高通量清洗技术等半导体湿法清洗前沿技术领域深度合作。同时对标美、日等知名半导体设备公司，不断完善